潔凈室中常被采用的空氣循環系統

（1）單獨空調器系統
循環空氣通過空調器進行溫、濕度處理后以風管直接分送至各HEPA過濾器，但不宜用于過濾器多的系統，空調器的風量一般不會太大。另一種方式是用總風管至靜壓箱，如有靜壓箱，宜用于過濾器多的系統，靜壓箱要求密封性好，以免污染物通過過濾器與靜壓箱的安裝接縫處以有不嚴密處漏入至潔凈室，這一點對要求嚴的潔凈室是十分重要的，常設在靜壓箱上一層屋頂層內，以減少送風管長度。一般每臺空調器的風量30000-45000m3/h間，以控制噪聲過大，風壓（氣壓）一般控制在650-700Pa以內。
（2）軸流風機豎井式布置，有壓靜壓箱
這種空氣循環系統主要用于大的IC工廠的潔凈室，由于其風量大，過濾器多，每臺軸流風機的風壓常控制在400Pa左右，以適應軸流風機低風壓、大流量下的運行效率佳并控制其噪音。此系統的特點是綜合投資及運行費用較高，維護管理方便，但靈活性較有效期，另外有壓靜箱的缺點同上。
（3）FFU系統
FFU是近幾年發展起來的，在使用壽命及維護上已經實踐證明無可擔心。其特點是靈活性大，便于改造，擴展；占用建筑物空間較少；無壓回風靜壓室，潔凈室內風壓大于它的，排除靜壓室對潔凈室漏入污染物。由于運行時的靜壓一般皆在250Pa左右，因此要求系統總阻力（過濾器為初阻力）控制在165Pa左右，即整個回風阻力（包括風道、各種局部阻力等）控制在65Pa左右，過濾器初阻力控制在約100Pa，融就需再增設加壓風機系統，這就降低了FFU系統的綜合優點。
FFU單機風量一般在1000-2000m3/h，由于小風機所用小容量（功率<1/2Hp）的交流電機，一般皆為電容分相式或隱極式，其效率僅40%左右，因此運行能效低，現多采用電子正流電機（無刷直流電機）其效率可達75-80%。解決了以往運行能效低的問題，在調整控制上，可每臺單獨或成組以過濾器壓降進行控制以進一步達到節能。FFU系統，可用于各行業的潔凈室，只要回風系統阻力及過濾器阻力能合適控制，對小系統往往是可取的；對過濾器滿布率較低（如25%）左右的大面積潔凈室亦采用較多；對過濾器滿布率較高時一般往往是不經濟的，滿布率高，意味著風量很大，如控制系統阻力，回風道要很大，往往在綜合經濟上不可取，亦較難實現。