潔凈度檢測示例

例：潔凈室面積為80m2，要求的潔凈度為5級，并要求對于0.3um和0.5um兩種粒徑的微粒進行檢測，應該如何進行？

1、檢測操作前的準備

（1）判斷規定的被檢微粒的粒徑是否在5級粒徑限值之內。0.3um和0.5um介于0.1um和5um之間，所以規定的被檢微粒在5級粒徑限值之內。

（2）判斷規定的被檢微粒相鄰的較大粒徑是否不小于較小粒徑的1.5倍。

0.3*1.5=0.45，0.5＞0.45，符合要求。

（3）計算微粒最大允許濃度，計算公式為：

計算結果：

1）對于粒徑不小于0.3um的微粒，最大允許濃度為10200pc/m3。

2）對于粒徑不小于0.5um的微粒，最大允許濃度為3520pc/m3。

（4）計算最少采樣點數。計算結果：最少采樣點數為9個。

（5）計算單次測定的最少采樣量，計算結果：

對于不小于0.3um的微粒，a=10200pc/m3，代入公式：

檢測如下：

2、數據處理

因為采樣點數小于10，所以應該考慮95%置信度的微粒濃度的上限。

（1）每個采樣點的平均值。每個采樣點只采樣一次，所以每個采樣點的一次測得值可以作為該點的平均值。

（2）總平均值

1）對于不小于0.3um的微粒：總平均值為6349 pc/m3。

2）對于不小于0.5um的微粒：總平均值為706 pc/m3。

（3）采樣點平均值的標準偏差

1）對于不小于0.3um的微粒：2154

2）對于不小于0.5um的微粒：382

（4）計算置信上限。置信度取95%，采樣點數m=9，從t分布表中查出t值為1.9。

1）對于不小于0.3um的微粒：

2）對于不小于0.5um的微粒：

3、檢測結果的判斷

1）對于不小于0.5um的微粒，a=3520pc/m3，代入公式：

                                                               
2）采樣條件要求單次采樣量不小于2L。
3）采樣條件要求單次采樣時間不小于1min。

4、檢測操作
（1）根據檢測條件要求，可選用28L/min光散射氣浮微粒測定儀進行檢測。
（2）每個采樣點只采樣一次，檢測結果見下表。每點測得的微粒數值均滿足潔凈度級微粒數均滿足潔凈度級別的要求，95%置信的微粒濃度的上限也滿足潔凈度級別的要求，所以該潔凈室的級別度符合要求。