ISO 14644明確規(guī)定此項(xiàng)測試，并指出特別是對于1～5級高級別潔凈室應(yīng)有效的進(jìn)行此項(xiàng)測試。此項(xiàng)測試的目的是用以測定有無受污染的空氣從周圍具有相同或不同靜壓的非受控區(qū)侵入到潔凈區(qū)，以評估潔凈室受周邊污染的風(fēng)險(xiǎn)，為采取相應(yīng)措施提供依據(jù)。此項(xiàng)測試可采用離散粒子計(jì)數(shù)器或氣溶膠光度計(jì)。
1、使用離散粒子計(jì)數(shù)器測試污染滲漏
（1）測量緊靠被評估潔凈室外部的粒子濃度，該濃度應(yīng)該比潔凈室高出10⁴倍，并且其濃度至少等于3.5*10⁶個(gè)待測粒徑的粒子。如果濃度小于該值，為確保測試的可靠性應(yīng)使用氣溶膠發(fā)生器生成氣溶膠，以提高相鄰?fù)獠靠諝庵袘腋×Ｗ拥臐舛取?br />（2）檢查通過施工接縫或裂縫的滲漏情況時(shí)，要在潔凈室內(nèi)離待測縫隙或嚙合面5～10cm距離上進(jìn)行掃描，其掃描速度約為5cm/s。
（3）當(dāng)檢查敞開門廊處的侵入情況時(shí)，應(yīng)在潔凈室內(nèi)距開敞門口0.3～3.0m的距離上測量。
（4）記錄并報(bào)告較所測得的外部氣溶膠粒子濃度大于10^-3倍的讀值。
2、使用氣溶膠光度計(jì)測試污染滲漏
按照在現(xiàn)場檢漏高效空氣過濾器時(shí)相同的要求，在潔凈室或潔凈設(shè)施處生成足夠高濃度的氣溶膠，使得氣溶膠光度計(jì)在0.1%設(shè)定值時(shí)超負(fù)荷，氣溶膠光度計(jì)在0.1%設(shè)定值的讀值超過0.01%就表明有滲漏。
當(dāng)檢查通過施工裂縫或焊縫的滲漏情況時(shí)，要在離待測縫或密封表面5～10cm的距離上掃描封閉體內(nèi)部，掃描速度約為5cm/s。
當(dāng)檢查敞開的門廊處的侵入情況時(shí)，在距離敞開的門0.3～1m的距離上測量封閉體內(nèi)部的濃度。
記錄并報(bào)告所有超過氣溶膠光度計(jì)0.01%標(biāo)度的讀數(shù)。
3、測試報(bào)告
除去測試報(bào)告常規(guī)的各項(xiàng)內(nèi)容外，還應(yīng)特別報(bào)告：
（1）數(shù)據(jù)采集方法及相關(guān)細(xì)節(jié)；
（2）測量點(diǎn)的位置；
（3）測量工作在潔凈室所處何種狀態(tài)下進(jìn)行。