潔凈室如何進(jìn)行靜電測試？

1、表面電荷電位測量
（1）測量點(diǎn)或待測物體應(yīng)按合同文件的規(guī)定。選擇測試儀要依據(jù)待測物體是絕緣體還是導(dǎo)體以及其物理尺寸。
（2）手持儀器探頭，其距接地的金屬板的距離按生產(chǎn)商的規(guī)定，將靜電計(jì)或場強(qiáng)計(jì)的讀數(shù)調(diào)為零。
（3）手持探頭使之與金屬板平行，與金屬板的距離按生產(chǎn)商的建議值。
（4）金屬板的表面積應(yīng)足夠大，適合于所要求的的探頭開口，且金屬板足夠大，有合適的探頭與表面間距比率。
（5）按生產(chǎn)商的說明，使探頭接近物體表面，并測量表面電壓，或測量電場。記錄每個(gè)規(guī)定測點(diǎn)的測量值。
2、表面電阻測量
（1）具體測量條件按合同文件的規(guī)定。
（2）應(yīng)按生產(chǎn)商的建議以正確的間距將兩個(gè)電極設(shè)置在表面上。用具有合適輸出電壓的歐姆計(jì)測量表面電阻。記錄下每個(gè)規(guī)定測量點(diǎn)的測量值。
（3）將一個(gè)電極接地，另一個(gè)電極應(yīng)按生產(chǎn)商的建議放置在表面上。用具有合適輸出電壓的歐姆計(jì)測量表面電阻。記錄下每個(gè)規(guī)定測量點(diǎn)的測量值。
3、離子發(fā)生器測試
（1）測量點(diǎn)或待測物體應(yīng)按合同文件的規(guī)定。
（2）工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)中規(guī)定的測量電離器性能的儀器稱為帶電板監(jiān)測器。它的基本組成是：一個(gè)已知電容量的孤立導(dǎo)電板，將板充電至已知電壓或使其電壓為零的電源，可測量板上的電壓及其達(dá)到預(yù)置水平的時(shí)間的測量手段。
（3）將CPM放在規(guī)定的測量點(diǎn)，用電源將孤立的導(dǎo)電板充電至已知電壓。
（4）隨著板上的靜電荷被電離器所減少，測量該板上的靜電壓降至10%初始電壓的時(shí)間，即放電時(shí)間。在每個(gè)規(guī)定的測量點(diǎn)記錄測量值。
（5）重復(fù)該步驟，將板充電至已知負(fù)電壓。在每個(gè)規(guī)定的測量點(diǎn)記錄測量值。
4、剩余電壓測量
（1）測量點(diǎn)或待測物體應(yīng)按合同文件的規(guī)定。
（2）將CPM放在規(guī)定的測量點(diǎn)，將孤立的導(dǎo)電板接地以消除殘余電荷。如需要，將CPM讀數(shù)調(diào)為零。斷開接地連接。
（3）允許孤立的金屬板有充分的時(shí)間從電離器獲得電荷，且讀數(shù)穩(wěn)定。記錄剩余電壓。