潔凈室的檢測與認(rèn)證--高效空氣過濾器檢漏

高效空氣過濾器本體在進(jìn)入現(xiàn)場前，生產(chǎn)廠家應(yīng)按規(guī)定進(jìn)行性能實驗檢測（如DOP測試等），并提供合格證(性能實驗結(jié)果)。對于5級(100級)以上潔凈室所使用的高效空氣過濾器，在現(xiàn)場應(yīng)再次進(jìn)行高效空氣過濾器本體的性能檢測，同時進(jìn)行檢漏試驗以確認(rèn)高效空氣過濾器是否正確安裝。在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的超潔凈技術(shù)中(如0.1um，1級)，由于新風(fēng)量往往僅是循環(huán)風(fēng)量的百分之幾，經(jīng)過稀釋上風(fēng)側(cè)也變成6級(1000級)的程度。在這種情況下，就必須重新考慮采用DOP檢漏試驗。
1、檢測要求
（1）一般采取粒子計數(shù)器法進(jìn)行檢漏，被檢高效空氣過濾器必須已檢測過風(fēng)量，并在設(shè)計風(fēng)速的80%～120%進(jìn)行。
（2）對于被檢高效空氣過濾器上風(fēng)側(cè)的微粒濃度符合下列要求：
對受控微粒≥0.5um的濃度，必須大于等于3.5*10⁴pc/L
對受控微粒≥0.1um的濃度，必須大于等于3.5*10⁶～3.5*10⁷pc/L
2、檢測方法
采用掃描法對高效空氣過濾器安裝接縫和主斷面進(jìn)行檢測，監(jiān)測點應(yīng)距被測表面20～30mm，測頭以5～20mm/s的速度移動，對被檢過濾器整個斷面、封膠頭和安裝框架處進(jìn)行掃描。粒子計數(shù)器的小采樣量大于1L/min。
3、檢測設(shè)備
（1）光散射粒子計數(shù)器
其工作原理是利用空氣中的微粒對光線的散射現(xiàn)象，將采樣空氣中微粒的光脈沖信號轉(zhuǎn)換為相應(yīng)的電脈沖信號來測定微粒的顆粒數(shù)，利用微粒的光散射強(qiáng)度與微粒粒徑的平方成正比的關(guān)系，測量微粒粒徑大小。光散射粒子計數(shù)器一般由氣路系統(tǒng)、光學(xué)系統(tǒng)、電路系統(tǒng)和電源等部分組成。
（2）激光粒子計數(shù)器
其工作原理與光散射粒子計數(shù)器基本相同，但因采用了比光散射粒子計數(shù)器強(qiáng)100倍的氦-氖激光光源，所以微粒粒徑的檢測范圍達(dá)0.1μm。
（3）凝聚核粒子計數(shù)器
它是利用飽和蒸汽讓微小粒子凝聚為大粒徑粒子，進(jìn)行微粒粒子濃度測定。工作原理為：采樣空氣中的微粒，經(jīng)過溫度為35℃的飽和管，然后在溫度為10℃的凝聚管內(nèi)由媒介液進(jìn)行凝聚，直至增大到能夠檢測到散射光的粒徑為止，其他部分與一般光散射粒子計數(shù)器相同。
4、合格標(biāo)準(zhǔn)
GB 50591-2010《潔凈室施工及驗收規(guī)范》中規(guī)定，由高效空氣過濾器下風(fēng)側(cè)泄露濃度換算成的透過率來衡量是否合格，其合格標(biāo)準(zhǔn)如下：
對于高效空氣過濾器  K′=c2/c1*100%≤2K
對于超高效空氣過濾器  K′=c2/c1*100%≤3K
式中，K為過濾器出廠時檢測合格的透過率；
    K′為過濾器的泄露濃度換算成的透過率；
    c1為過濾器上風(fēng)側(cè)含塵濃度；
    c2為過濾器下風(fēng)側(cè)含塵濃度。