潔凈室送風(fēng)系統(tǒng)

（1）集中送風(fēng)方式
這種送風(fēng)方式一般是數(shù)臺大型新風(fēng)處理機(jī)組和凈化循環(huán)機(jī)組集中設(shè)置在空調(diào)機(jī)房內(nèi)，空調(diào)機(jī)組可位于潔凈室的側(cè)面或頂部。經(jīng)過溫濕度處理和過濾后的空氣由離心風(fēng)機(jī)或軸流風(fēng)機(jī)加壓后通過風(fēng)道送入送風(fēng)靜壓箱，再由空氣過濾器或超空氣過濾器過濾后送入潔凈室。回風(fēng)經(jīng)格柵地板系統(tǒng)，流入回風(fēng)靜壓箱再回到凈化循環(huán)系統(tǒng)，如此反復(fù)循環(huán)運(yùn)行。
（2）隧道潔凈室送風(fēng)方式
這種送風(fēng)方式一般將潔凈室劃分為生產(chǎn)核心區(qū)和維護(hù)區(qū)，生產(chǎn)核心區(qū)要求高潔凈度和嚴(yán)格的溫濕度控制，設(shè)在單向流送風(fēng)區(qū)內(nèi)；維護(hù)區(qū)要求較低，設(shè)置在生產(chǎn)輔助設(shè)備或無潔凈要求的生產(chǎn)設(shè)備的尾部或配管配線等。生產(chǎn)區(qū)為送風(fēng)區(qū)，維護(hù)區(qū)為回風(fēng)區(qū)，構(gòu)成空氣循環(huán)系統(tǒng)。一般隧道式送風(fēng)是由多個空氣循環(huán)系統(tǒng)組成，所以其中一臺循環(huán)機(jī)組出現(xiàn)故障不會影響其他區(qū)域生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度，并且各個循環(huán)系統(tǒng)可根據(jù)生產(chǎn)需要進(jìn)行分區(qū)調(diào)控。
（3）風(fēng)機(jī)過濾單元送風(fēng)方式
在潔凈室的吊頂上安裝多臺風(fēng)機(jī)過濾單元(FFU)機(jī)組，構(gòu)成循環(huán)系統(tǒng)，不需要配置凈化循環(huán)空調(diào)機(jī)房，送風(fēng)靜壓箱為負(fù)壓。空氣由FFU送到潔凈室，從回風(fēng)靜壓箱經(jīng)兩側(cè)夾道回至送風(fēng)靜壓箱。根據(jù)潔凈室的溫度調(diào)節(jié)需要，一般在回風(fēng)夾道設(shè)干式表冷器。新風(fēng)處理機(jī)可集中設(shè)在空調(diào)機(jī)房內(nèi)，處理后的新風(fēng)直接送入送風(fēng)靜壓箱。因送風(fēng)靜壓箱為負(fù)壓，有利于空氣過濾器頂棚的密封；但由于FFU機(jī)組臺數(shù)較多，在滿布率較高時，一般投資較大，運(yùn)行費(fèi)用也高。有些FFU噪聲較大，選用時需要注意。
（4）模塊式風(fēng)機(jī)單元送風(fēng)方式
這種送風(fēng)方式是送風(fēng)機(jī)安裝在空氣過濾器或超空氣過濾器之上，1臺送風(fēng)機(jī)可配置數(shù)臺過濾器的空氣循環(huán)系統(tǒng)。這種模塊式風(fēng)機(jī)單元循環(huán)系統(tǒng)屬無管道方式，空氣輸送速度較低，送風(fēng)機(jī)和過濾器維修較方便，能量消耗較少。
（5）微環(huán)境+開放式潔凈室的送風(fēng)方式
這種方式可以確保極為嚴(yán)格的半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)環(huán)境或設(shè)備的微環(huán)境控制達(dá)到高潔凈度等級(如0.05~0. lμm, ISO 1級)，而其周圍的開放式大面積潔凈環(huán)境僅保持在相對較差的潔凈度等級(如ISO 5級或ISO 6級)，微環(huán)境內(nèi)為潔凈度控制嚴(yán)格的單向流潔凈環(huán)境，而開放式潔凈室為單向流或混合流潔凈室。這種方式的能量消耗較少，工藝布置靈活性好，建設(shè)投資和運(yùn)行費(fèi)用都可以降低。