電子潔凈室靜壓差的檢測方法

（1）檢測要求
①靜壓差的測定要求在潔凈區內的所有的門全部關閉情況下進行。
②在潔凈室平面上應從潔凈度由高到低的順序依次進行，一直檢測到直通室外的房間。
③測管口設在室內沒有氣流影響的任何地方均可，測管口面與氣流流線平行。
④所測量記錄的數據應到O.lPa。
（2）普通傳遞窗檢測方法
①先關閉所有的門。
②用微差壓計測量各潔凈室之間、潔凈室走廊之間、走廊與外界之間的壓差。
③記錄所有數據。
（3）測量儀器采用YJB-150補償微壓計，量程0—1 500Pa或其他微壓力計，儀表靈敏度小于O.lPa。
（4）合格標準按照傳遞窗原理潔凈室設計或工藝要求決定維持被測潔凈室的正壓或負壓值。
①不同級別的潔凈室或潔凈區與非潔凈室（區）之間的靜壓差，應不小于4.9Pa。
②潔凈室（區）與室外的靜壓差，不應小于9.8Pa。
③對于空氣潔凈度等級嚴于5級（100級）的單向流潔凈室在開門時，門內0.6m處的室內工作面含塵濃度應不大于相應級別的含塵濃度限值。
④若達不到以上標準的要求，應重新調整新風量、排風量，至合格為止。